真人性23式(动)

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Model 760 高精度真空计
Model 760
高精度真空计

Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。测量单位可以是 Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作电压是 15VDC,输出 0~10VDC或 0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。

电气连接件可以是工业标准 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 抑制元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术,Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头。

Model 760 中高精度的压力传感元件 VactronTM pressure sensor,是在 Setra 专利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件中央有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被 Setra独特的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号,该集成电路是根据西特专利技术负荷平衡原理设计的。

Model 760 采用革新的传感设计获得了出色的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。

出众的 EMI/RFI 性能
耐腐蚀的 Inconel ® 设计
出色的热稳定性

特性
· 高精度:标准 ±0.25% of Reading ,可选 ±0.15%
· 小巧紧凑的结构
· 多种压力连接和电气连接方式
· 符合 CE 标准

应用
· 半导体过程工具和设备
· 实验室和研究开发
· 实验和测量
· 度量
· 分析化学系统

注:Setra 坚持严格的质量标准 ANSI-Z540-1。此产品的标定源于 NIST。







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